检测内容:
高度差
检测设备:
镭烁光电激光3D轮廓传感器LS-A80007
主要性能指标:X方向测量范围0~7mm,Z方向范围0~5mm,精度±3μm,重复精度1μm。
检测原理:
利用激光三角反射原理,激光束被放大成一条激光线投射到被测物体表面上,反射光透过高质量光学系统,投射到成像矩阵上,经计算得到传感器到被测量表面的距离(Z轴)和沿着激光线的位置信息(X轴),移动被测量物体或者轮廓仪探头,就可以得到一组三维测量值。
初步说明:
重复测量10次:
综合说明:
1. 高度差1测量在没有定位治具的情况下取放误差20微米,预计治具定位后精度在10微米左右
2. 高度差2因为测量区域过小,直接测量误差较大,需要特殊算法